净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用空气过滤器三级过滤。车间净化工程可以细分为很多方面,每一方面的标准达到了,车间净化工程才算是成功的。无尘车间净化原理:气流→初效空气处理→空气调节→中效空气处理→风机加压送风→净化送风管道→送风口→洁净室→带走尘埃 → 回风夹道→新风、初效空气处理。设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近。
无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室。其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。无尘车间净化原理:气流→初效空气处理→空气调节→中效空气处理→风机加压送风→净化送风管道→送风口→洁净室→带走尘埃 → 回风夹道→新风、初效空气处理。
排风系统有一般排风系统、**气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等,净化车间设计时,要根据实际情况选择。洁净空间的压力要**非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要**相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,无尘车间,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。