无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室。其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室材料设备主要有各类装饰材料和空调设备材料。对装饰材料应严格按地区有关工程技术标准、施工质量验收规范和设计文件的要求进行检验和验证。洁净室和空调送回风管道应在安装过滤器前达到清洁要求,净化空调系统**连续空吹12小时以上,空吹后再对送回风管和空调机组内部进行清扫和擦洗干净。
净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,gmp车间净化工程,均应采用空气过滤器三级过滤。车间净化工程可以细分为很多方面,每一方面的标准达到了,车间净化工程才算是成功的。设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亚(或)三级过滤器。也可分四级,增加一级过滤器。净化工程的一般施工程序:粉尘作业,无尘作业后,不允许交叉作业。 否则会影响项目的质量。 也就是说,在完成所有粉尘产生操作之后,可以进行无尘操作。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。一般洁净室高度控制在2.60米,对个别较高的设备可在局部加高,而不宜提高洁净区的高度。净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用空气过滤器三级过滤。车间净化工程可以细分为很多方面,每一方面的标准达到了,车间净化工程才算是成功的。