洁净室内的嵌壁器械柜与墙体之间、壁板上安装的插座、开关、照明箱体及灯带、观片灯等都需要用密封胶进行密封,且器械柜中的各种管道和箱体之间也都**采用**和有效的密封措施。排风系统有一般排风系统、**气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等,净化车间设计时,要根据实际情况选择。洁净室内密封控制**内容是围护结构密封施工质量,如板材与板材之间应均匀涂密封胶,达到严密不漏风。
净化工程所特别设计的房间简称为:洁净室、无尘室、无菌室、无尘车间、洁净厂房等,主要目的是控制环境内的温湿度、洁净度、气流、噪音等达到标准。净化工程的关键是设计,无尘车间安装,工程设计水平的好与坏将直接关系到整个工程之后的施工,还会影响净化工程今后的稳定性、**性、经济性。洁净空间的压力要**非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要**相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。洁净室内密封控制**内容是围护结构密封施工质量,如板材与板材之间应均匀涂密封胶,达到严密不漏风。