洁净技术专门研究并提供洁净的生产工艺环境和生产过程中使用的各种高纯介质,有效地控制微量杂质,以**高科技产品的成品率。一般洁净室高度控制在2.60米,对个别较高的设备可在局部加高,而不宜提高洁净区的高度。洁净室施工涉及装饰、暖通、电气和气体等,施工人员须对洁净室施工规范、施工工艺、施工质量有认识,否则,施工质量很难得到**。
净化工程的一般施工程序:粉尘作业,无尘作业后,不允许交叉作业。 否则会影响项目的质量。 也就是说,在完成所有粉尘产生操作之后,可以进行无尘操作。无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室。其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室应使用不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉和*清洁并具有防火功能的材料,不能使用木材和石膏板作表面装饰材料。空调保温材料也**符合地区有关规定达到耐腐蚀、不产尘、不附着灰尘和防火等要求。
排风系统有一般排风系统、**气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等,净化车间设计时,车间洁净工程,要根据实际情况选择。洁净空间的压力要**非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要**相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。