具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。 净化工程所特别设计的房间简称为:洁净室、无尘室、无菌室、无尘车间、洁净厂房等,主要目的是控制环境内的温湿度、洁净度、气流、噪音等达到标准。洁净室施工涉及装饰、暖通、电气和气体等,施工人员须对洁净室施工规范、施工工艺、施工质量有认识,否则,施工质量很难得到**。
在实际施工中,净化项目通常分为,分工和分时。 这种安排有利于各种和工作类型的管理。 但是,易于进行多尘和无尘的交叉操作,应尽可能避免这种结构布置。 如果不可避免,应该防止灰尘和有效清洁。洁净室应使用不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉和*清洁并具有防火功能的材料,不能使用木材和石膏板作表面装饰材料。空调保温材料也**符合地区有关规定达到耐腐蚀、不产尘、不附着灰尘和防火等要求。洁净空间的压力要**非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要**相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
排风系统有一般排风系统、**气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等,净化工程无尘车间工程,净化车间设计时,要根据实际情况选择。净化车间根据区域环境、净化程度等因素,为若干等级,常用的有和国内区域行业标准。洁净空间的压力要**非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要**相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。